半導體工業(yè)空氣彈簧隔振器平臺控制系統(tǒng),用于半導體工業(yè)空氣彈簧隔振器平臺,包括:至少三個高度閥,所述高度閥位于所述空氣彈簧隔振平臺下部充氣的氣路上,每個高度閥對應設置在一組空氣彈簧上,所述高度閥對空氣彈簧進行充氣,用于控制對應位置隔振平臺的高度;至少三個高度傳感器,設置在所述空氣彈簧隔振平臺上,每個高度傳感器對應其中一個高度閥設置,用于檢測對應位置的高度數(shù)據(jù);力傳感器,用于檢測空氣彈簧的壓力數(shù)據(jù);模擬量輸入模塊,分別與所述壓力傳感器、高度傳感器連接，用于獲取對應的壓力數(shù)據(jù)和高度數(shù)據(jù),并發(fā)送給處理器;處理器,用于接收模擬量輸入模塊的模擬量數(shù)據(jù),并轉(zhuǎn)化成數(shù)字量數(shù)據(jù),并輸出給數(shù)字量輸出模塊;數(shù)字量輸出模塊，用于接收處理器的數(shù)字量數(shù)據(jù),并控制高度閥充氣管路上設置的電磁閥,進而實現(xiàn)對所述高度閥的控制。

處理器,用于接收模擬量輸入模塊的模擬量數(shù)據(jù),并轉(zhuǎn)化成數(shù)字量數(shù)據(jù),并輸出給數(shù)字量輸出模塊;數(shù)字量輸出模塊，用于接收處理器的數(shù)字量數(shù)據(jù),并控制高度閥充氣管路上設置的電磁閥,進而實現(xiàn)對所述高度閥的控制。優(yōu)選地,當高度傳感器感應到高度達到設定值,壓力傳感器在時間T內(nèi)感應連續(xù)N次檢測壓力值,并且壓力值變化小于xMPa,關閉全部電磁閥。其中所述時間T優(yōu)選為0.1-10分鐘;所述N至少為3;所述x優(yōu)選為0.001。